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半導(dǎo)體氣體痕量雜質(zhì)分析系統(tǒng)專(zhuān)為滿(mǎn)足半導(dǎo)體制造日益嚴(yán)格的需求而設(shè)計(jì)，用于檢測(cè)特種氣體中的痕量雜質(zhì)及組分含量。隨著半導(dǎo)體技術(shù)在通信、信息處理等領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用，制造過(guò)程中使用的氣體種類(lèi)和數(shù)量顯著增加，對(duì)雜質(zhì)控制提出了更高要求。該系統(tǒng)采用優(yōu)良的氣相色譜法，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化、高精度分析，確保氣體純度符合半導(dǎo)體工藝標(biāo)準(zhǔn)。通過(guò)高效檢測(cè)痕量雜質(zhì)，該系統(tǒng)顯著提升半導(dǎo)體產(chǎn)品質(zhì)量，降低缺陷率，

環(huán)氧乙烷濃度檢測(cè)儀儀器采用氣相色譜法進(jìn)行測(cè)量，能夠精確測(cè)定EOG濃度，且不受其他共存氣體的干擾。

熱值分析儀能夠進(jìn)行H2~C6以上18種成分的分析 H2、O2、N2、CH4、CO、CO2、C2H4、C2H6、C3H8、C3H6、i-C4H10、n-C4H10 i-C4H8、t-2C4H8、c-2C4H8、i-C5H12、n-C5H12、以及C6

YP300可用于多種金屬的分析，包括最常見(jiàn)的各類(lèi)鋼鐵、鋁合金、銅合金、錫合金、鎳合金等。 YP300有著優(yōu)秀的分析精度，不管是在紫外區(qū)元素還是可見(jiàn)光區(qū)域的元素；在鑄鐵的測(cè)試分析中優(yōu)異的穩(wěn)定性，并且可分析低合金鋼、鑄鐵中的低含量的氮元素，也可以分析銅中的氧元素。

高溫/高壓拉伸釜

氫滲透測(cè)試儀